チタン合金スパッタ リング ターゲット
チタン及びチタン合金スパッタ リング ターゲット
1.Materials:
1) PureTitanium ターゲット、Gr1 Gr2
純度: Rangingfrom99.5%
2) tiAl 合金ターゲット
50:50at%、80:20at%、70:30at%、60:40at %
3)ニッケル クロム、Ti Al Cr Al、Si、Al、W Ti、Cu-Ni、Ta X、Mo Nb および Co-鉄-X
2. 形状:
1) RoundTarget
通常のサイズ: dia100X40、dia100X45、dia100X50、dia80X40、dia80X45、dia80X50
寸法: 直径: 50 900 mm * 40 〜 100 ミリメートル
2)PlateTarget:
長さ: 200 〜 400 ミリメートル
幅: 100-200
厚さ: 15 〜 30 ミリメートル
3) TubeTarget:
特別な図面となっています。
3. アプリケーション
真空溶解、特許取得済みの熱・力学的プロセス